洁净室或洁净区选用的空气悬浮粒子洁净度等级

ISO 1644国际标准中洁净室或洁净区选用的空气悬浮粒子洁净度等级

	等于或大于相应粒径的最大允许浓度（粒/m3）
	0.1μm	0.2μm	0.3μm	0.5μm	1μm	5μm
ISO1	10	2
ISO2	100	24	10	4
ISO3	1000	237	102	35	8
ISO4	10000	2365	1018	352	83
ISO5	100000	23651	10176	3517	832	29
ISO6	1000000	236514	101763	35168	8318	293
ISO7				351676	83176	2925
ISO8				3516757	831764	29251
ISO9				35167572	8317638	292511

1，洁净室或洁净区内空气悬浮粒子洁净等级  还有著名的美国联邦标准（Fed.St.209系列）可以参考；

2，ISO1644的ISO5相当于Fed.St.209系列的100级（≥0.5μm粒子，≤3.5颗/升，或100颗/ft³，或3530颗/m³）

3，洁净度等级在100级以下者（1000，10000级等）通常用0.5μm粒径考核的居多；

4，随着微电子技术的发展，洁净度等级相应提高，洁净室检测粒径也越来越小（见表），对粒子检测仪器的要求当然也越来越高，对洁净室设计和施工方而言，在验收时，可能不止用一个粒径（如0.5μm）而要用到更多的粒径，如0.3 μm 0.2μm   甚至0.1μm对洁净室进行检测评定。